Kommunvis

Vara
Bitterna (Öster och Väster), Edsvära, Eling, Fyrunga, Jung, Hällum, Kvänum, Larv, Laske-Vedum, Levene, Long, Längjum (med Vässby), Naum, Norra Vånga, Ryda (med Halvås), Skarstad, Slädene, Sparlösa,  Södra Kedum, Södra Lundby, Tråvad, Vara, Önum, Öttum

Grästorp
Bjärby, Flakeberg, Flo, Hyringa, Håle, Längnum, Malma (Essunga kommun), Sal, Särestad, Tengene, Trökörna, Täng, Ås
Vänersnäs (Näs) (före 1816 hört hit men tillhör nu Vänersborgs kommun)

Essunga
Barne-Åsaka, Bäreberg, Essunga, Främmestad, Fåglum, Kyrkås, Lekåsa, 

Pastoratvis enligt indelningen före 1962.

Bitterna: Västerbitterna, Österbitterna, Laske-Vedum, Eling
Larv: Larv, Längjum (med Vässby) Tråvad, Södra Lundby
Levene: Levene, Long, Sparlösa, Slädene
Jung: Jung, Fyrunga, Öttum
Norra Vånga: Norra Vånga, Edsvära, Kvänum
Ryda: Ryda (med Halvås), Naum, Södra Kedum
Skarstad: Skarstad, Hällum, Vara, Önum

Flo: Flo, Sal, Ås, samt Vänersnäs (Näs) före 1816
Särestad: Särestad, Bjärby, Flakeberg, Håle, Täng
Tengene: Tengene, Hyringa, Längnum, Malma, Trökörna

Främmestad: Främmestad, Bäreberg
Lekåsa: Lekåsa, Barne-Åsaka, Essunga, Kyrkås (Sandbäck), Fåglum

Häradsvis

Barne: Eling, Lekåsa, Barne-Åsaka, Essunga, Kyrkås (Sandbäck), Fåglum, Skarstad, Hällum (del av), Vara, Önum, Ryda (med Halvås), Naum, Södra Kedum, Long
Laske: Västerbitterna, Österbitterna, Laske-Vedum, Larv, Längjum (med Vässby) Tråvad (endast delen öster om Lidan till 1887, därefter hela socknen),
Kålland: Slädene
Viste: Främmestad, Bäreberg, Levene, Tengene, Hyringa, Längnum, Malma, Trökörna, Bjärby, Flakeberg, Sparlösa
Skåning: Jung, Fyrunga, Öttum,  Norra Vånga, Edsvära, Kvänum,  Hällum (del av), Tråvad (västra delen om Lidan till 1887, som då överfördes till Laske)
Åse: Flo, Sal, Ås, Vänersnäs, Särestad, Håle, Täng

1810 slogs Viste och Åse samman till Åse-Viste härad. 1897 tillkom Barne och Laske.